Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr
Uložené v:
| Názov: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr |
|---|---|
| Informácie o vydavateľovi: | БГТУ, 2021. |
| Rok vydania: | 2021 |
| Predmety: | условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, пластины монокристаллического кремния, кремниевые пластины, металлические покрытия, резерфордовское обратное рассеяние |
| Popis: | В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами. |
| Druh dokumentu: | Article |
| Popis súboru: | application/pdf |
| Jazyk: | Russian |
| Prístupová URL adresa: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602 |
| Prístupové číslo: | edsair.od......3992..ede8c446c06f8cd11cc2e9433beadbf0 |
| Databáza: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science Buďte prvý, kto okomentuje tento záznam!