Bibliographische Detailangaben
| Titel: |
Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr |
| Verlagsinformationen: |
БГТУ, 2021. |
| Publikationsjahr: |
2021 |
| Schlagwörter: |
условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, пластины монокристаллического кремния, кремниевые пластины, металлические покрытия, резерфордовское обратное рассеяние |
| Beschreibung: |
В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами. |
| Publikationsart: |
Article |
| Dateibeschreibung: |
application/pdf |
| Sprache: |
Russian |
| Zugangs-URL: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602 |
| Dokumentencode: |
edsair.od......3992..ede8c446c06f8cd11cc2e9433beadbf0 |
| Datenbank: |
OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science