Podrobná bibliografia
| Názov: |
Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов |
| Informácie o vydavateľovi: |
БГУИР, 2014. |
| Rok vydania: |
2014 |
| Predmety: |
автоматическое оборудование контроля, фотолитография, материалы конференций, фотошаблоны |
| Popis: |
Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения. |
| Druh dokumentu: |
Article |
| Jazyk: |
Russian |
| Prístupová URL adresa: |
https://openrepository.ru/article?id=212019 |
| Prístupové číslo: |
edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867 |
| Databáza: |
OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science