View in EDS

Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов

Saved in:

Bibliographic Details
Title:	Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов
Publisher Information:	БГУИР, 2014.
Publication Year:	2014
Subject Terms:	автоматическое оборудование контроля, фотолитография, материалы конференций, фотошаблоны
Description:	Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения.
Document Type:	Article
Language:	Russian
Access URL:	https://openrepository.ru/article?id=212019
Accession Number:	edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867
Database:	OpenAIRE

Description
Abstract:	Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения.