Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов
Saved in:
| Title: | Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов |
|---|---|
| Publisher Information: | БГУИР, 2014. |
| Publication Year: | 2014 |
| Subject Terms: | автоматическое оборудование контроля, фотолитография, материалы конференций, фотошаблоны |
| Description: | Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения. |
| Document Type: | Article |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://openrepository.ru/article?id=212019 |
| Accession Number: | edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867 |
| Database: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science Be the first to leave a comment!