Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов
Uloženo v:
| Název: | Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов |
|---|---|
| Informace o vydavateli: | БГУИР, 2014. |
| Rok vydání: | 2014 |
| Témata: | автоматическое оборудование контроля, фотолитография, материалы конференций, фотошаблоны |
| Popis: | Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения. |
| Druh dokumentu: | Article |
| Jazyk: | Russian |
| Přístupová URL adresa: | https://openrepository.ru/article?id=212019 |
| Přístupové číslo: | edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867 |
| Databáze: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science Buďte první, kdo okomentuje tento záznam!