Investigation of sensitive and restoring parameters for nanostructured Al2O3 based humidity sensors

The volumetric-surface variant of the capacitive MDM (metal-dielectric-metal) structure of the vertical direction based on high-ordered matrices of free anodic porous alumina membranes for applications in humidity sensing elements was designed. The improved humidity sensitivity, reduced response and...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	Proceedings of the 2014 IEEE NW Russia Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference : 3-5 February 2014 s. 72 - 74
Hlavní autor:	Shimanovich, D. L.
Médium:	Konferenční příspěvek
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	IEEE 01.02.2014
Témata:	anodic porous alumina Chemicals Etching Humidity humidity sensing element membrane recovery time response time Sensitivity Sensors Time factors
ISBN:	9781479925933, 1479925934
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!