Strategy-Oriented Exact Pattern Grouping Approaches for Integrated Circuit Designs

Exact layout pattern grouping has been utilized in recent years in integrated circuit design for manufacturability (DFM) applications. In this paper, we have developed several approaches of exact layout pattern grouping for different purposes. For achieving a small cluster count and largest repeatin...

Celý popis

Uložené v:
Podrobná bibliografia
Vydané v:2022 International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS) s. 1 - 4
Hlavní autori: Gan, Yuan, Ding, Ming, Han, Chunying, Yan, Changlian, Jiang, Junhai, Zhang, Rongjia, Yu, Zongqiang
Médium: Konferenčný príspevok..
Jazyk:English
Vydavateľské údaje: IEEE 21.10.2022
Predmet:
On-line prístup:Získať plný text
Tagy: Pridať tag
Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!
Buďte prvý, kto okomentuje tento záznam!
Najprv sa musíte prihlásiť.