Strategy-Oriented Exact Pattern Grouping Approaches for Integrated Circuit Designs

Exact layout pattern grouping has been utilized in recent years in integrated circuit design for manufacturability (DFM) applications. In this paper, we have developed several approaches of exact layout pattern grouping for different purposes. For achieving a small cluster count and largest repeatin...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:2022 International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS) S. 1 - 4
Hauptverfasser: Gan, Yuan, Ding, Ming, Han, Chunying, Yan, Changlian, Jiang, Junhai, Zhang, Rongjia, Yu, Zongqiang
Format: Tagungsbericht
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: IEEE 21.10.2022
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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