Polarity-switching top coats enable orientation of sub-10-nm block copolymer domains

Block copolymers (BCPs) must necessarily have high interaction parameters (χ), a fundamental measure of block incompatibility, to self-assemble into sub-10-nanometer features. Unfortunately, a high χ often results from blocks that have disparate interfacial energies, which makes the formation of use...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Science (American Association for the Advancement of Science) Jg. 338; H. 6108; S. 775
Hauptverfasser:	Bates, Christopher M, Seshimo, Takehiro, Maher, Michael J, Durand, William J, Cushen, Julia D, Dean, Leon M, Blachut, Gregory, Ellison, Christopher J, Willson, C Grant
Format:	Journal Article
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	United States 09.11.2012
ISSN:	1095-9203, 1095-9203
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