Mueller Matrix Ellipsometric Approach on the Imaging of Sub-Wavelength Nanostructures

Conventional spectroscopic ellipsometry is a powerful tool in optical metrology. However, when it comes to the characterization of non-periodic nanostructures or structured fields that are much smaller than the illumination spot size, it is not well suited as it integrates the results over the whole...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Frontiers in physics Jg. 9
Hauptverfasser:	Käseberg, Tim, Grundmann, Jana, Siefke, Thomas, Klapetek, Petr, Valtr, Miroslav, Kroker, Stefanie, Bodermann, Bernd
Format:	Journal Article
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Frontiers Media S.A 21.01.2022
Schlagworte:	ellipsometry imaging ellipsometry metrology mueller ellipsometry nanometrology nanostructures
ISSN:	2296-424X, 2296-424X
Online-Zugang:	Volltext
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