Mueller Matrix Ellipsometric Approach on the Imaging of Sub-Wavelength Nanostructures

Conventional spectroscopic ellipsometry is a powerful tool in optical metrology. However, when it comes to the characterization of non-periodic nanostructures or structured fields that are much smaller than the illumination spot size, it is not well suited as it integrates the results over the whole...

Celý popis

Podrobná bibliografia

Vydané v:	Frontiers in physics Ročník 9
Hlavní autori:	Käseberg, Tim, Grundmann, Jana, Siefke, Thomas, Klapetek, Petr, Valtr, Miroslav, Kroker, Stefanie, Bodermann, Bernd
Médium:	Journal Article
Jazyk:	English
Vydavateľské údaje:	Frontiers Media S.A 21.01.2022
Predmet:	ellipsometry imaging ellipsometry metrology mueller ellipsometry nanometrology nanostructures
ISSN:	2296-424X, 2296-424X
On-line prístup:	Získať plný text
Tagy:	Pridať tag Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!