Uncertainty in microscale gas damping: Implications on dynamics of capacitive MEMS switches

Effects of uncertainties in gas damping models, geometry and mechanical properties on the dynamics of micro-electro-mechanical systems (MEMS) capacitive switch are studied. A sample of typical capacitive switches has been fabricated and characterized at Purdue University. High-fidelity simulations o...

Celý popis

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Vydáno v:	Reliability engineering & system safety Ročník 96; číslo 9; s. 1171 - 1183
Hlavní autoři:	Alexeenko, Alina, Chigullapalli, Sruti, Zeng, Juan, Guo, Xiaohui, Kovacs, Andrew, Peroulis, Dimitrios
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Elsevier Ltd 01.09.2011
Témata:	Aleatory uncertainty Damping Dynamics Electric potential Epistemic uncertainty Impact velocity Mathematical models Microsystems Quantification of margins and uncertainties RF MEMS Squeeze-film damping Switches Uncertainty Uncertainty analysis Voltage Microsystems Epistemic uncertainty RF MEMS Quantification of margins and uncertainties Squeeze-film damping Uncertainty analysis Aleatory uncertainty
ISSN:	0951-8320, 1879-0836
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

Buďte první, kdo okomentuje tento záznam!