Model-based thickness estimation of multilayer films in picosecond ultrasonics metrology with aliased echoes

•The thickness estimation method aims at the case of a part of echoes aliasing in picosecond ultrasonics.•A theoretical model of the spectrum relationship between echo-signal regions is constructed.•Simulations are conducted and yield ways to reduce noise impact.•Estimation errors for the tested W/A...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	Applied acoustics Ročník 228; s. 110272
Hlavní autoři:	Min, Jing, Chen, Xiuguo, Liu, Shiyuan, Wang, Zhongyu, Sun, Yong, Wang, Xuesong, Tang, Zirong
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Elsevier Ltd 15.01.2025
Témata:	Inversion algorithm Picosecond ultrasonics Spectrum analysis Submicron multilayer films Thickness estimation Thickness estimation Picosecond ultrasonics Submicron multilayer films Spectrum analysis Inversion algorithm
ISSN:	0003-682X
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!