Automatic speed control system for the chemical etching of thin films

The possibility of creating automatic control systems based on the interferometric optical method for chemical etching processes has been shown. A structural diagram of device for automatic control of the construction of an optical path from the elements of modern information fiber-optic systems has...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	Fìzika ì hìmìâ tverdogo tìla (Online) Ročník 26; číslo 1; s. 91 - 99
Hlavní autoři:	Dalekorej, A.V., Ivanytsky, V.P., Kryuchyn, A.A., Legeta, Ya.P., Petrov, V.V., Rubish, V.M., Ryaboshchuk, M.M., Chychura, I.I.
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Vasyl Stefanyk Precarpathian National University 01.01.2025
Témata:	automatic control system automation of chemical etching processes etching process control algorithm interference thickness control methods
ISSN:	1729-4428, 2309-8589
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!