Automatic speed control system for the chemical etching of thin films

The possibility of creating automatic control systems based on the interferometric optical method for chemical etching processes has been shown. A structural diagram of device for automatic control of the construction of an optical path from the elements of modern information fiber-optic systems has...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Fìzika ì hìmìâ tverdogo tìla (Online) Vol. 26; no. 1; pp. 91 - 99
Main Authors: Dalekorej, A.V., Ivanytsky, V.P., Kryuchyn, A.A., Legeta, Ya.P., Petrov, V.V., Rubish, V.M., Ryaboshchuk, M.M., Chychura, I.I.
Format: Journal Article
Language:English
Published: Vasyl Stefanyk Precarpathian National University 01.01.2025
Subjects:
automatic control system
automation of chemical etching processes
etching process control algorithm
interference thickness control methods
ISSN:1729-4428, 2309-8589
Online Access:Get full text
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:The possibility of creating automatic control systems based on the interferometric optical method for chemical etching processes has been shown. A structural diagram of device for automatic control of the construction of an optical path from the elements of modern information fiber-optic systems has been developed. An experimental model of an automatic control system with optimal spectral "binding" of the radiation source, optical fibers, Y-splitter and photodetector has been created. The results of experimental studies of changes in the interference during chemical etching of thin films have shown that the created model provides simplicity of optical adjustment, high noise immunity and simplicity of automation of control of the entire etching process. Based on the results which were obtained during the study of the experimental model, a basic algorithm for the functioning of automatic control systems for chemical etching processes using the interferometric optical method has been developed. Показано можливість створення систем автоматичного контролю процесів хімічного травлення на основі інтерферометричного оптичного методу. Розроблено структурну схему пристроїв автоматичного керування побудовою оптичного тракту із елементів сучасних інформаційних оптоволоконних систем. Створено експериментальну модель системи автоматичного керування із оптимальним спектральним «ув’язуванням» джерела випромінювання, оптичних волокон, Y-розгалужувача та фотоприймача. Результати експериментальних досліджень змін інтерференційної картини під час хімічного травлення тонких плівок показали, що створена модель забезпечує простоту оптичного юстування, високу завадостійкість та легкість автоматизації контролю всього процесу травлення. На основі отриманих при досліджені експериментальної моделі результатів розроблено базовий алгоритм функціонування систем автоматичного контролю процесів хімічного травлення із використанням інтерферометричного оптичного методу.
ISSN:1729-4428
2309-8589
DOI:10.15330/pcss.26.1.91-99