Pre-production estimates for the choice of strategy and algorithm for monochromatic monitoring of the production of optical coatings

The paper proposes an approach for the pre-production selection of the most promising combination of a monochromatic monitoring strategy and a monitoring algorithm used for predicting termination of layer deposition. The approach is based on the previously introduced estimate of the strength of the...

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Veröffentlicht in:	Applied optics. Optical technology and biomedical optics Jg. 62; H. 18; S. 4906
Hauptverfasser:	Tikhonravov, A, Lagutina, A, Lagutin, Iu, Yagola, A
Format:	Journal Article
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	20.06.2023
ISSN:	1539-4522, 1539-4522
Online-Zugang:	Weitere Angaben
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