Active cluster annotation for wafer map pattern classification in semiconductor manufacturing

•Active cluster annotation is proposed for wafer map pattern classification.•High-performance CNN is achieved with reduced annotation cost.•Multiple wafer maps are annotated in cluster-level annotation.•Cluster-level annotation can yield consistent labels. In semiconductor manufacturing, wafer map p...

Celý popis

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Vydáno v:	Expert systems with applications Ročník 183; s. 115429
Hlavní autoři:	Shim, Jaewoong, Kang, Seokho, Cho, Sungzoon
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	New York Elsevier Ltd 30.11.2021 Elsevier BV
Témata:	Active learning Annotations Artificial neural networks Cluster-level annotation Clustering Cost effectiveness Engineers Iterative methods Learning Manufacturing Pattern classification Uncertainty Uncertainty estimation Wafer map pattern classification Wafer map pattern classification Uncertainty estimation Active learning Cluster-level annotation
ISSN:	0957-4174, 1873-6793
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

Buďte první, kdo okomentuje tento záznam!