The chemistry of metal CVD /
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Weinheim :
VCH Publishers,
1994
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| Ausgabe: | [1st ed.] |
| Schlagworte: | |
| ISBN: | 3527290710 |
| Online-Zugang: |
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| Beschreibung: | XXIV, 530 s. : grafy, lit., obr., tab. ; |
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| ISBN: | 3527290710 |