The chemistry of metal CVD /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kodas, Taivo T.
Weitere Verfasser: Hampden-Smith, Mark J.
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Weinheim : VCH Publishers, 1994
Ausgabe:[1st ed.]
Schlagworte:
ISBN:3527290710
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