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Simulation der Ionenimplantation in kristalline Siliziumstrukturen /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Bohmayr, Walter
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Wien : Technická univerzita, 1997
Ausgabe:	[1. Aufl.]
Schriftenreihe:	Dissertationen Band 77
Schlagworte:	simulácia Monte Carlo > amortizačný model
ISBN:	3854370555
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