FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE /

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Valijev, Kamil Achmetovič
Other Authors: Rakov, Aleksandr Vasiljevič, Larionova, V. M. (Editor)
Format: Book
Language:Russian
Published: Moskva : Radio i svjaz, 1984
Online Access: Get full text
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

MARC

LEADER 00000nam a2200000 4500
003 SK-BrCVT
005 20220617182527.0
008 940926s1984 rur e ||||||rus d
035 |a CVTIDW0924736 
040 |b slo  |a CVTI SR 
041 0 |a rus 
044 |a rur 
080 |a 621.3.049.77:  |2 UDC-MRF 
080 |a 681.62.061.75  |2 UDC-MRF 
100 1 |a Valijev, Kamil Achmetovič 
242 1 0 |a FYZIKÁLNE ZÁKLADY SUBMIKROMETROVEJ LITOGRAFIE V MIKROELEKTRONIKE 
245 1 0 |a FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE /  |c Kamil Achmetovič Valijev, Aleksandr Vasiljevič Rakov ; Red.: V. M. Larionova 
260 |a Moskva :  |b Radio i svjaz,  |c 1984 
300 |a 349 S. :  |b grafy, lit., obr. ; 
700 1 |a Rakov, Aleksandr Vasiljevič 
700 1 |a Larionova, V. M.  |4 edt 
910 |b A450238 
974 |f Knihy 
992 |a AMG 
999 |c 83048  |d 83048