FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE /

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Valijev, Kamil Achmetovič
Weitere Verfasser: Rakov, Aleksandr Vasiljevič, Larionova, V. M. (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Moskva : Radio i svjaz, 1984
Online-Zugang: Volltext
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