Valijev, K. A., Rakov, A. V., & Larionova, V. M. (1984). FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE. Radio i svjaz.
Citace podle Chicago (17th ed.)Valijev, Kamil Achmetovič, Aleksandr Vasiljevič Rakov, a V. M. Larionova. FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE. Moskva: Radio i svjaz, 1984.
Citace podle MLA (9th ed.)Valijev, Kamil Achmetovič, et al. FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE. Radio i svjaz, 1984.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..