Preparation and electrical characterization of silicon structures formed by wafer bonding /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Bengtsson, Stefan
Médium: Diplomová práce Kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: Göteborg : Chalmers Tekniska Högskola, 1991
Vydání:1st ed.
Edice:TECHNICAL report No. 223
Témata:
ISBN:917032655X
On-line přístup: Získat plný text
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
Popis
Fyzický popis:Preruš. str. : fotogr., grafy, lit., obr., tab. ;
ISBN:917032655X