Polykristalline Siliziumkarbidschichten : hergestellt durch chemische Reaktion von Kohlenwasserstoffen mit Siliziumsubstraten, von der Fakultät für Maschinenwesen und Elektrotechnik der Technischen Universität München zur Erlangung des Grades eines Doktors der Naturwissenschaften (Dr. rer. nat.) genehmigte Dissertation - Auszug -/

Bibliographic Details

Other Authors:	Wagner, Elmar (Dissertant)
Format:	Book
Language:	German
Published:	München : Technische Universität, 1974
Subjects:	karbid kremíka
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