Polykristalline Siliziumkarbidschichten : hergestellt durch chemische Reaktion von Kohlenwasserstoffen mit Siliziumsubstraten, von der Fakultät für Maschinenwesen und Elektrotechnik der Technischen Universität München zur Erlangung des Grades eines Doktors der Naturwissenschaften (Dr. rer. nat.) genehmigte Dissertation - Auszug -/

Podrobná bibliografie

Další autoři:	Wagner, Elmar (Autor práce)
Médium:	Kniha
Jazyk:	němčina
Vydáno:	München : Technische Universität, 1974
Témata:	karbid kremíka
On-line přístup:
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!