Micro and Nano Fabrication Technology

This volume focuses on the state-of-the-art micro/nanofabrication technologies for creating miniature structures with high precision. These multidisciplinary technologies include mechanical, electrical, optical, physical, and chemical methods, as well as hybrid processes, covering subtractive and ad...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Médium: Elektronický zdroj E-kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: Singapore : Springer Singapore , 2018.
Vydání:1st ed. 2018.
Edice:Micro/Nano Technologies,
Témata:
ISBN:9789811300981
ISSN:2522-5065
On-line přístup: Získat plný text
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

Podobné jednotky