Tablicy parametrov prostranstvennogo raspredelenija ionno- implantirovannych primesej : teorija, metod rasčeta, tablicy /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Burenkov, Aleksandr Fedorovič (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Tschechisch
Veröffentlicht: Minsk : BGU im. V. I. Lenina, 1980
Schriftenreihe:rz1
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