Madou, M. J. (2012). Fundamentals of microfabrication and nanotechnology (3rd ed.). CRC Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Madou, Marc J. Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology. 3rd ed. Boca Raton: CRC Press, 2012.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Madou, Marc J. Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology. 3rd ed. CRC Press, 2012.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.