Nucleation of damage centres during ion implantation of silicon /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Chadderton, Lewis T.
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Roskilde : Danish Atomic Energy Commission, 1970
Ausgabe:[1st ed.]
Schriftenreihe:Research Establishment Risö
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