Podrobná bibliografia
| Názov: |
Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr |
| Informácie o vydavateľovi: |
БГТУ, 2021. |
| Rok vydania: |
2021 |
| Predmety: |
условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, пластины монокристаллического кремния, кремниевые пластины, металлические покрытия, резерфордовское обратное рассеяние |
| Popis: |
В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами. |
| Druh dokumentu: |
Article |
| Popis súboru: |
application/pdf |
| Jazyk: |
Russian |
| Prístupová URL adresa: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602 |
| Prístupové číslo: |
edsair.od......3992..ede8c446c06f8cd11cc2e9433beadbf0 |
| Databáza: |
OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science