In EDS ansehen

Ионно-ассистированное в условиях саморадиациии осаждение покрытий

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Titel: Ионно-ассистированное в условиях саморадиациии осаждение покрытий
Verlagsinformationen: БГТУ, 2024.
Publikationsjahr: 2024
Schlagwörter: саморадиация, ионно-ассистированное осаждение, осаждение покрытий, энергосберегающие электроды, тонкие пленки, покрытия
Beschreibung: Сообщается о развитии структуры и состава пленок на основе металлов на подложке, сформированной путем самоионного осаждения металла (Me-Ti, Cr, Zr, MO, W) на кремний, алюминий и алюминиевые сплавы, сталь, эластомер с использованием метода, в котором осаждение Me сопровождалось бомбардировкой 5, 10 или 20 кэВ. Анализ проводился с использованием методов RBS, TEM, EDS, SIMS, PIN, PULL TEST и NMA. Установлено, что пленки имеют равномерную толщину, являются аморфными в области интерфейса и включают небольшие (до 10 нм) поликристаллические выделения Me. Элементный анализ покрытий показывает высокое содержание кислорода, углерода, водорода и элементов из подложки.
Publikationsart: Article
Dateibeschreibung: application/pdf
Sprache: Russian
Zugangs-URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67626
Dokumentencode: edsair.od......3992..783ee35eaaf8d7e0df3902c410c8c97a
Datenbank: OpenAIRE
Beschreibung
Abstract:Сообщается о развитии структуры и состава пленок на основе металлов на подложке, сформированной путем самоионного осаждения металла (Me-Ti, Cr, Zr, MO, W) на кремний, алюминий и алюминиевые сплавы, сталь, эластомер с использованием метода, в котором осаждение Me сопровождалось бомбардировкой 5, 10 или 20 кэВ. Анализ проводился с использованием методов RBS, TEM, EDS, SIMS, PIN, PULL TEST и NMA. Установлено, что пленки имеют равномерную толщину, являются аморфными в области интерфейса и включают небольшие (до 10 нм) поликристаллические выделения Me. Элементный анализ покрытий показывает высокое содержание кислорода, углерода, водорода и элементов из подложки.