Ионно-ассистированное в условиях саморадиациии осаждение покрытий
Uložené v:
| Názov: | Ионно-ассистированное в условиях саморадиациии осаждение покрытий |
|---|---|
| Informácie o vydavateľovi: | БГТУ, 2024. |
| Rok vydania: | 2024 |
| Predmety: | саморадиация, ионно-ассистированное осаждение, осаждение покрытий, энергосберегающие электроды, тонкие пленки, покрытия |
| Popis: | Сообщается о развитии структуры и состава пленок на основе металлов на подложке, сформированной путем самоионного осаждения металла (Me-Ti, Cr, Zr, MO, W) на кремний, алюминий и алюминиевые сплавы, сталь, эластомер с использованием метода, в котором осаждение Me сопровождалось бомбардировкой 5, 10 или 20 кэВ. Анализ проводился с использованием методов RBS, TEM, EDS, SIMS, PIN, PULL TEST и NMA. Установлено, что пленки имеют равномерную толщину, являются аморфными в области интерфейса и включают небольшие (до 10 нм) поликристаллические выделения Me. Элементный анализ покрытий показывает высокое содержание кислорода, углерода, водорода и элементов из подложки. |
| Druh dokumentu: | Article |
| Popis súboru: | application/pdf |
| Jazyk: | Russian |
| Prístupová URL adresa: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67626 |
| Prístupové číslo: | edsair.od......3992..783ee35eaaf8d7e0df3902c410c8c97a |
| Databáza: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science | Abstrakt: | Сообщается о развитии структуры и состава пленок на основе металлов на подложке, сформированной путем самоионного осаждения металла (Me-Ti, Cr, Zr, MO, W) на кремний, алюминий и алюминиевые сплавы, сталь, эластомер с использованием метода, в котором осаждение Me сопровождалось бомбардировкой 5, 10 или 20 кэВ. Анализ проводился с использованием методов RBS, TEM, EDS, SIMS, PIN, PULL TEST и NMA. Установлено, что пленки имеют равномерную толщину, являются аморфными в области интерфейса и включают небольшие (до 10 нм) поликристаллические выделения Me. Элементный анализ покрытий показывает высокое содержание кислорода, углерода, водорода и элементов из подложки. |
|---|