In EDS ansehen

Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Titel:	Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов
Verlagsinformationen:	БГУИР, 2014.
Publikationsjahr:	2014
Schlagwörter:	автоматическое оборудование контроля, фотолитография, материалы конференций, фотошаблоны
Beschreibung:	Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения.
Publikationsart:	Article
Sprache:	Russian
Zugangs-URL:	https://openrepository.ru/article?id=212019
Dokumentencode:	edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867
Datenbank:	OpenAIRE

Beschreibung
Abstract:	Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения.