Podrobná bibliografie
| Název: |
Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов |
| Informace o vydavateli: |
БГУИР, 2014. |
| Rok vydání: |
2014 |
| Témata: |
автоматическое оборудование контроля, фотолитография, материалы конференций, фотошаблоны |
| Popis: |
Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения. |
| Druh dokumentu: |
Article |
| Jazyk: |
Russian |
| Přístupová URL adresa: |
https://openrepository.ru/article?id=212019 |
| Přístupové číslo: |
edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867 |
| Databáze: |
OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science