Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов
Gespeichert in:
| Titel: | Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов |
|---|---|
| Verlagsinformationen: | БГУИР, 2014. |
| Publikationsjahr: | 2014 |
| Schlagwörter: | автоматическое оборудование контроля, фотолитография, материалы конференций, фотошаблоны |
| Beschreibung: | Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения. |
| Publikationsart: | Article |
| Sprache: | Russian |
| Zugangs-URL: | https://openrepository.ru/article?id=212019 |
| Dokumentencode: | edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867 |
| Datenbank: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science Schreiben Sie den ersten Kommentar!