Zobrazit v EDS

Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Název: Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов
Informace o vydavateli: БГУИР, 2014.
Rok vydání: 2014
Témata: автоматическое оборудование контроля, фотолитография, материалы конференций, фотошаблоны
Popis: Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения.
Druh dokumentu: Article
Jazyk: Russian
Přístupová URL adresa: https://openrepository.ru/article?id=212019
Přístupové číslo: edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867
Databáze: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
CustomLinks:
  – Url: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=httpsopenrep%3A%3Ad66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867
    Name: EDS - OpenAIRE (s4221598)
    Category: fullText
    Text: View record at OpenAIRE
  – Url: https://www.webofscience.com/api/gateway?GWVersion=2&SrcApp=EBSCO&SrcAuth=EBSCO&DestApp=WOS&ServiceName=TransferToWoS&DestLinkType=GeneralSearchSummary&Func=Links&author=
    Name: ISI
    Category: fullText
    Text: Nájsť tento článok vo Web of Science
    Icon: https://imagesrvr.epnet.com/ls/20docs.gif
    MouseOverText: Nájsť tento článok vo Web of Science
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867
RelevancyScore: 769
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 769.473876953125
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: БГУИР, 2014.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2014
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22автоматическое+оборудование+контроля%22">автоматическое оборудование контроля</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22фотолитография%22">фотолитография</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22материалы+конференций%22">материалы конференций</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22фотошаблоны%22">фотошаблоны</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения.
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Russian
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="https://openrepository.ru/article?id=212019" linkWindow="_blank">https://openrepository.ru/article?id=212019</link>
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867
PLink https://erproxy.cvtisr.sk/sfx/access?url=https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.httpsopenrep..d66aabfcbeb8b0b696e4926cab1cd867
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Languages:
      – Text: Russian
    Subjects:
      – SubjectFull: автоматическое оборудование контроля
        Type: general
      – SubjectFull: фотолитография
        Type: general
      – SubjectFull: материалы конференций
        Type: general
      – SubjectFull: фотошаблоны
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов
        Type: main
  BibRelationships:
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 01
              M: 01
              Type: published
              Y: 2014
          Identifiers:
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
ResultId 1