Optical Cantilever Using Diffraction Grating and Sampling Moiré Method
Uloženo v:
| Název: | Optical Cantilever Using Diffraction Grating and Sampling Moiré Method |
|---|---|
| Autoři: | Soya Sato, Toshihiro Shiratori, Tetsuo Kan, Hidetoshi Takahashi |
| Zdroj: | 2025 IEEE 38th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). :979-982 |
| Informace o vydavateli: | IEEE, 2025. |
| Rok vydání: | 2025 |
| Druh dokumentu: | Article |
| DOI: | 10.1109/mems61431.2025.10917823 |
| Rights: | STM Policy #29 |
| Přístupové číslo: | edsair.doi...........fa075cfc5e4a44b4397368ff1d3b3d37 |
| Databáze: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science | DOI: | 10.1109/mems61431.2025.10917823 |
|---|