Cyclic scheduling of multi-type wafers concurrent processing in single-arm cluster tools with residency time constraints

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Název: Cyclic scheduling of multi-type wafers concurrent processing in single-arm cluster tools with residency time constraints
Autoři: Xin Li, Wen Yang
Zdroj: Expert Systems with Applications. 269:126443
Informace o vydavateli: Elsevier BV, 2025.
Rok vydání: 2025
Druh dokumentu: Article
Jazyk: English
ISSN: 0957-4174
DOI: 10.1016/j.eswa.2025.126443
Rights: Elsevier TDM
Přístupové číslo: edsair.doi...........bb513d8003af072ffbb4b9ab12060940
Databáze: OpenAIRE
Popis
ISSN:09574174
DOI:10.1016/j.eswa.2025.126443