A Ferroelectric CMOS Microelectrode Array with ZrO2 Recording and Stimulation Sites for In-Vitro Neural Interfacing

A CMOS-based microelectrode array (CMOS-MEA) is presented, where a 10-nm-thick antiferroelectric ZrO 2 layer is deposited in the post-CMOS process as functional electrode coating for 4225 recording sites and 1024 stimulation sites. Voltage noise measurements of the ZrO 2 recording sites of the CMOS-...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	2024 IEEE BioSensors Conference (BioSensors) s. 1 - 4
Hlavní autoři:	Becker, Maximilian T., Corna, Andrea, Xu, Bohan, Schroeder, Uwe, Amft, Oliver, Keil, Stefan, Thewes, Roland, Zeck, Gunther
Médium:	Konferenční příspěvek
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	IEEE 28.07.2024
Témata:	Biosensors Charge injection capacity CMOS-based Microelectrode Array Electric potential Ferroelectric Microelectrodes Microelectrodes Noise level Noise measurement Optimization Recording Retina Tin Voltage measurement Voltage noise
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!