Plasma diagnostics for the low-pressure plasma polymerization process: A critical review

Since the 1980s, functionalized plasma polymer films have attracted a considerable attention owing to their promising utilization in a wide range of modern applications. For such materials, controlling the chemistry of the coatings by a clever choice of the process parameters represents the main cha...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Thin solid films Jg. 606; S. 19 - 44
Hauptverfasser: Thiry, Damien, Konstantinidis, Stephanos, Cornil, Jérôme, Snyders, Rony
Format: Journal Article
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Elsevier B.V 01.05.2016
Elsevier
Schlagworte:
ISSN:0040-6090, 1879-2731
Online-Zugang:Volltext
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