Computational Adaptive Optics for HAR Hybrid Trench Array Topography Measurement by Utilizing Coherence Scanning Interferometry

High aspect ratio (HAR) sample-induced aberrations seriously affect the topography measurement for the bottom of the microstructure by coherence scanning interferometry (CSI). Previous research proposed an aberration compensating method using deformable mirrors at the conjugate position of the pupil...

Celý popis

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Vydáno v:	Sensors (Basel, Switzerland) Ročník 25; číslo 13; s. 4085
Hlavní autoři:	Qiao, Wenyou, Gao, Zhishan, Yuan, Qun, Chen, Lu, Guo, Zhenyan, Huo, Xiao, Wang, Qian
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Switzerland MDPI AG 30.06.2025 MDPI
Témata:	aberration correction Algorithms Astigmatism coherence scanning interferometry Electric fields high aspect ratio Interferometry Light Mathematical optimization Measurement Optics Optimization Polynomials sample-induced aberrations Signal to noise ratio Simulation Topography virtual phase filter virtual phase filter sample-induced aberrations high aspect ratio coherence scanning interferometry aberration correction topography
ISSN:	1424-8220, 1424-8220
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

Buďte první, kdo okomentuje tento záznam!