Gudmundsson, J. T. (2020). Physics and technology of magnetron sputtering discharges. Plasma sources science & technology, 29(11), . https://doi.org/10.1088/1361-6595/abb7bd
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Gudmundsson, J T. "Physics and Technology of Magnetron Sputtering Discharges." Plasma Sources Science & Technology 29, no. 11 (2020). https://doi.org/10.1088/1361-6595/abb7bd.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Gudmundsson, J T. "Physics and Technology of Magnetron Sputtering Discharges." Plasma Sources Science & Technology, vol. 29, no. 11, 2020, https://doi.org/10.1088/1361-6595/abb7bd.
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