Double-actuator position-feedback mechanism for adjustable sensitivity in electrostatic-capacitive MEMS force sensors

[Display omitted] •Novel double-actuator position-feedback mechanism for MEMS force sensors.•Adjustable force sensitivity and measurement range independently from the desired working position.•Servo-assisted position-feedback loop ideally offers infinite input mechanical impedance.•The mechanism has...

Celý popis

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Vydáno v:	Sensors and actuators. A. Physical. Ročník 312; s. 112127
Hlavní autoři:	Nastro, Alessandro, Ferrari, Marco, Ferrari, Vittorio
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Lausanne Elsevier B.V 01.09.2020 Elsevier BV
Témata:	Actuator position Adjustable sensitivity Double-actuator position-feedback mechanism Electrostatic-capacitive MEMS Electrostatics Feedback control systems Feedback loops Force measurement Force sensor Mechanical impedance Microelectromechanical systems Position measurement Position sensing Reproducibility Sensors Stiffness Force sensor Electrostatic-capacitive MEMS Double-actuator position-feedback mechanism Adjustable sensitivity
ISSN:	0924-4247, 1873-3069
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

Buďte první, kdo okomentuje tento záznam!