Ion energy analysis of a bipolar HiPIMS discharge using a retarding field energy analyser
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Plasma sources science & technology Jg. 31; H. 6 |
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| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Journal Article |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
IOP Publishing
01.06.2022
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| Schlagworte: | |
| ISSN: | 0963-0252, 1361-6595 |
| Online-Zugang: | Volltext |
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