Ion energy analysis of a bipolar HiPIMS discharge using a retarding field energy analyser
Uloženo v:
| Vydáno v: | Plasma sources science & technology Ročník 31; číslo 6 |
|---|---|
| Hlavní autoři: | , , |
| Médium: | Journal Article |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
IOP Publishing
01.06.2022
|
| Témata: | |
| ISSN: | 0963-0252, 1361-6595 |
| On-line přístup: | Získat plný text |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|
Buďte první, kdo okomentuje tento záznam!