Ion energy analysis of a bipolar HiPIMS discharge using a retarding field energy analyser

Uložené v:
Podrobná bibliografia
Vydané v:Plasma sources science & technology Ročník 31; číslo 6
Hlavní autori: Walk, F, Valizadeh, R, Bradley, J W
Médium: Journal Article
Jazyk:English
Vydavateľské údaje: IOP Publishing 01.06.2022
Predmet:
bipolar pulsing
HiPIMS
ion energy analyser
ion energy distribution function
RFEA
ISSN:0963-0252, 1361-6595
On-line prístup:Získať plný text
Tagy: Pridať tag
Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!
Popis
Bibliografia:PSST-105056.R1
ISSN:0963-0252
1361-6595
DOI:10.1088/1361-6595/ac6a0d