Ion energy analysis of a bipolar HiPIMS discharge using a retarding field energy analyser

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Vydáno v:Plasma sources science & technology Ročník 31; číslo 6
Hlavní autoři: Walk, F, Valizadeh, R, Bradley, J W
Médium: Journal Article
Jazyk:angličtina
Vydáno: IOP Publishing 01.06.2022
Témata:
bipolar pulsing
HiPIMS
ion energy analyser
ion energy distribution function
RFEA
ISSN:0963-0252, 1361-6595
On-line přístup:Získat plný text
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
Popis
Bibliografie:PSST-105056.R1
ISSN:0963-0252
1361-6595
DOI:10.1088/1361-6595/ac6a0d