A dynamic scheduling algorithm for singe-arm two-cluster tools with flexible processing times

This article presents a dynamic algorithm for job scheduling in two-cluster tools producing multi-type wafers with flexible processing times. Flexible processing times mean that the actual times for processing wafers should be within given time intervals. The objective of the work is to minimize the...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Engineering optimization Jg. 50; H. 2; S. 329 - 346
Hauptverfasser:	Li, Xin, Fung, Richard Y. K.
Format:	Journal Article
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Abingdon Taylor & Francis 01.02.2018 Taylor & Francis Ltd
Schlagworte:	Clusters Completion time Decomposition decomposition method dynamic scheduling Production scheduling residency time constraints Scheduling algorithms temporal time set Two-cluster tools Wafers
ISSN:	0305-215X, 1029-0273
Online-Zugang:	Volltext
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